1. Pureté
La pureté de la
cible en titane a une grande influence sur les performances du revêtement par pulvérisation cathodique.Plus la pureté de la cible de titane est élevée, moins il y a de particules d'impuretés dans le film de titane pulvérisé, ce qui se traduit par de meilleures performances de revêtement PVD, notamment une meilleure résistance à la corrosion et des propriétés électriques et optiques.Cependant, dans les applications pratiques, les cibles en titane à des fins différentes ont des exigences différentes en matière de pureté.Le matériau cible est utilisé comme source de cathode dans la pulvérisation, et les éléments d'impureté et les inclusions de porosité dans le matériau sont les principales sources de pollution du film déposé.Les inclusions stomatiques seront essentiellement éliminées lors du processus de test non destructif des lingots.Les inclusions stomatiques non retirées provoqueront une décharge pendant le processus de pulvérisation, affectant ainsi la qualité du film;et le contenu des éléments d'impureté ne peut être reflété que dans les résultats des tests d'analyse complète des éléments., plus la teneur totale en impuretés est faible, plus la pureté de la cible en titane est élevée.
2. Granulométrie moyenne
Habituellement, la cible en titane a une structure polycristalline et la taille des grains peut aller du micromètre au millimètre.La vitesse de pulvérisation de la cible à grains fins est plus rapide que celle de la cible à grains grossiers.La distribution d'épaisseur du film déposé par grenaille est également plus uniforme.L'étude a révélé que si la taille des grains de la cible en titane est contrôlée en dessous de 100 μm et que la variation de la taille des grains est maintenue à moins de 20 %, la qualité du film pulvérisé peut être grandement améliorée.
3. Orientation cristalline
Le titane a une structure hexagonale compacte.Étant donné que les atomes de la cible en titane sont facilement pulvérisés le long de la direction hexagonale compacte des atomes pendant la pulvérisation, afin d'obtenir un taux de pulvérisation plus élevé, la structure cristalline de la cible peut être modifiée en modifiant la méthode.pour augmenter le taux de pulvérisation.La direction cristallographique de la cible de titane a également une grande influence sur l'uniformité d'épaisseur du film pulvérisé.
Revêtement PVD
4. Uniformité structurelle
L'uniformité structurelle est également l'un des indicateurs importants pour examiner la qualité de la cible.Pour les cibles en titane, non seulement le plan de pulvérisation de la cible, mais également la composition de la direction normale, l'orientation des grains et l'uniformité de la taille moyenne des grains du plan de pulvérisation sont nécessaires.Ce n'est qu'ainsi que la cible en titane peut obtenir un film de titane avec une épaisseur uniforme, une qualité fiable et une taille de grain constante en même temps pendant sa durée de vie.
5. Géométrie et taille
Principalement reflété dans la précision d'usinage et la qualité d'usinage, telles que la taille d'usinage, la planéité de la surface, la rugosité, etc. Si l'écart d'angle du trou d'installation est trop important, il ne peut pas être installé correctement ;si l'épaisseur est trop petite, cela affectera la durée de vie de la cible;si la surface d'étanchéité et la rainure d'étanchéité sont trop rugueuses, cela causera des problèmes de vide après l'installation de la cible, ce qui entraînera sérieusement des fuites d'eau;éclaboussures de la cible Le traitement de rugosité de surface peut rendre la surface de la cible recouverte d'abondantes pointes surélevées.Sous l'action de l'effet de pointe, le potentiel de ces pointes surélevées va être fortement augmenté, ce qui casse la décharge diélectrique, mais les bosses trop importantes sont préjudiciables à la qualité et à la stabilité de la pulvérisation.
