Lors de la sélection d'une cible de pulvérisation en titane, plusieurs facteurs doivent être pris en compte.Nous discuterons également des avantages et des inconvénients de diverses cibles de pulvérisation en titane.
Des cibles de pulvérisation en titane personnalisées sont disponibles
Les cibles de pulvérisation en titane sont disponibles en différentes tailles, puretés et prix.Vous pouvez choisir celui qui convient à vos besoins en fonction des propriétés du matériau.Le titane est utilisé dans la fabrication de nombreux matériaux, dont le métal.Les cibles de pulvérisation en titane sont produites par un procédé avancé de pressage isostatique à chaud.Ils sont largement utilisés dans les revêtements d'écrans plats, les revêtements décoratifs et les composants semi-conducteurs.Contrairement à d'autres cibles métalliques, les cibles de pulvérisation d'aluminium et de titane ont une microstructure homogène.
Teneur en impuretés de la cible en titane
La performance des films pulvérisés dépend en grande partie de la pureté d'une cible en titane.Plus la pureté est élevée, moins il y aura d'impuretés dans le film et plus la probabilité de défauts sera faible.Généralement, les cibles en titane utilisées pour les revêtements décoratifs sont peu exigeantes en termes de pureté.Cependant, pour les appareils nécessitant des composants électroniques performants, tels que les circuits intégrés et les écrans, le niveau de pureté est crucial.Les éléments d'impuretés et les inclusions de porosité sont les principales sources de contamination des cibles en titane.
Une cible en titane de haute qualité minimisera les impuretés et empêchera les phénomènes de décharge anormale.Il stabilisera également les caractéristiques de pulvérisation et inhibera les particules pendant le dépôt.En conséquence, des cibles en titane de haute qualité seront bénéfiques pour former des films minces pour les appareils électroniques.Les cibles en titane ont une dureté Shore de 20 ou plus et un rapport d'orientation du plan basal de 70 % ou moins.Ils sont également très durables et peuvent supporter des résultats de test de traction allant jusqu'à 2 %.
La densité de la cible en titane affecte les propriétés électriques et optiques
Les propriétés optiques et électriques d'un matériau cible dépendent de ses densités.Dans la présente étude, nous avons examiné l'effet de la densité d'une cible en titane.La densité de la cible a été déterminée en mesurant la résistivité de sa surface en plusieurs points.Les résultats de cette étude ont montré que le film de titane est beaucoup plus dense que l'air ambiant.L'augmentation de la densité de la cible explique ce résultat.
Il a été observé que la densité cible n'a aucun effet sur la vitesse de dépôt et les propriétés structurelles, mais qu'elle affecte la formation des nodules cibles.La densité de la cible varie avec la température du substrat, et l'augmentation de la densité de la cible diminue la transmittance et la résistivité du substrat dans le spectre visible.D'autres études révéleront si la densité de la cible a un effet sur les propriétés optiques et électriques de la cible.
Méthode de fabrication de
Cible en titane La méthode de fabrication de la cible en titane consiste à faire fondre la matière première en titane et à couler la soupe fondue pour obtenir un lingot vierge.Une fois la billette coulée, elle subit un premier traitement thermique et un procédé appelé thermoconservation.L'étape suivante implique un deuxième traitement thermique, qui forme une deuxième billette, qui est ensuite laminée à froid.Le processus réduit la taille et la dureté des grains et augmente la plasticité.
Une cible en titane de haute qualité peut réduire les impuretés, stabiliser les propriétés de pulvérisation et inhiber la formation de particules pendant le processus de dépôt.Depuis l'avènement de la technologie des semi-conducteurs, d'innombrables appareils électroniques ont été développés.À mesure que la technologie progresse, ces appareils sont devenus plus sophistiqués et utiles.Le processus de fabrication des cibles en titane est essentiel pour garantir que ces produits sont aussi bons que possible.Le processus de pulvérisation et de dépôt permet la production d'une variété de films minces, y compris ceux pour les appareils électroniques.
